真空泵 分子泵 离子泵
时间:2014-09-08
分子泵和离子泵都属于真空泵。
分子泵和离子泵都属于真空泵。分子泵和离子泵属于不同原理的两种泵,两种泵的最大区别就是真空度的不同,一般用分子泵来实现高真空,用离子泵来实现超高真空。
换句话说分子泵可以作为离子泵的前级。三级串联使用。