2014-09-09
摘要：2X型真空泵是抽除气体的基本设备之一，它可单独使用，也可与增压泵、扩散泵、分子泵等超高真空泵连接在一起作为前级泵使用，广泛用于电子器件制造、真空干燥、过滤、浸渍、涂膜、焊接、冶炼及实验室装备等。2X型真空泵特点拆箱安装使用说明维护保养 一、2X型真空泵特点 1、2X型真空泵是抽除气体的基本设备之一，它可单独使用，也可与增压泵、扩散泵、分子泵等超高真空泵连接在一起作为前级泵使用，广泛用于电子器件制造、真空干燥、过滤、浸渍、涂膜、焊接、冶炼及实验室装备等。 2、2X型真空泵在环境温度5℃～40℃范围内，进气口压强小于10托的条件下，允许长期运转，被抽气体相对温度大于90%时，应开气镇阀。 3、2X型真空泵进气口连续敝通大气运转不得超过3分钟. 4、2X型真空泵不适用于抽除对金属有腐蚀的、对泵油起化学反应的、含有颗粒尘埃的气体，以及含氧过高的、爆炸性的、有毒的气体。 二、2X型真空泵的拆箱安装： 拆箱后小心取出旋片真空泵体、备附件及说明书并保管好作日后备用
2014-09-09
靠偏置叶轮在泵腔内回转运动使工作室容积周期性变化以实现抽气的真空泵。它的工作室由旋转液环和叶轮构成?其结构和工作原理与液环压缩机相似。工作时吸气口接被抽真空容器。泵腔内如充的是水则称为水环真空泵。水环真空泵结构简单?制造容易?工作可靠?使用方便?耐久性强?可抽除腐蚀性?含尘气体和气水混合物。被抽气体温度以-2040℃为宜。循环水不应含有杂质。水环真空泵的抽气速率范围为0.25~500米3/小时?极限压力?单极泵为8×103~2×103帕?双级泵为2×103~1×102帕。水环真空泵主要用于真空蒸馏?真空干燥和水泵引水等方面。
2014-09-09
导读：6到0.64SCFM，它可以在45psi(3.1bar)压力下正常运行，所需压力大约是普通文氏泵的一半。 此款泵是由阳极氧化铝制成的，具有黄铜管口，并且此产品可供选择的范围很广泛，可以满足具体的需求。他们非常适用于自动化操作的需求。Anver说，次泵可以提供100%负载系数，相当于大很多的泵的运行效果，而且和传统的文氏管泵相比更加安全，噪音更少。他们的体积大小为3.78inLx1.26in... 系列紧密简洁多级文氏管真空泵已经在美国真空泵专业厂家AnverCorp.研制成功。它仅需要45psi的气压，但是可以提供以往需要80to100psi的泵一样的容积。 该公司介绍，Anver的Air-MiserMSP-AM系列多级气动真空泵现在有五种型号可供选择，从0.06到0.64SCFM，它可以在45psi(3.1bar)压力下正常运行，所需压力大约是普通文氏泵的一半。 此款泵是由阳极氧化铝制成的，具有黄铜管口，并且此产品可供选择的范围很广泛，可以满足具体的需求。他们非常适用于自动化操作的需求。Anver说，次泵可以提供100%负载系数，相当于大很多的泵的运行效果，而且和传统的
2014-09-09
旋片式真空泵是利用转子和可在转子槽内滑动的旋片的旋转运动以获得真空的一种变容机械真空泵。当采用工作液来进行润滑并填充泵腔死隙,分隔排气阀和大气时,即为通常所称的油封旋片真空泵。无工作液时,即为干式旋片式真空泵,将另页介绍。在油封旋片真空泵中,国内习惯上称皮带传动的为旋片式真空泵,而把泵与电机直接连接或用联轴器连接的称为直联旋片真空泵。在每种泵中,又有单级和双级之分。在单级泵中,由于选用的结构形式和参数不同,泵的极限压力和用途也不同。它们的共同特点是结构较简单,使用方便,能从大气压力下起动,可直接排人大气,偏心质量较小,维护简便,双级泵的极限压力为6×10-2~l×10-2pa,一种单级泵可达4pa左右,另一种单级泵为50~200pa左右。自1909年盖德(w.gaede)发明旋片泵并取得德国专利,1936年又发明气镇泵,1941年取得专利以来,旋片式真空泵得到广泛应用和不断完善。60年代末,国际上出现了提高转速,直联的小型化趋势,70年代初出现了直联系列产品,到80年代初,又推出了改进的系列产品,有多种可供用户选配的附件,可以保护泵,或保护环境,泵本身结构也有改
2014-09-08
往复真空泵pistonvacuumpump靠活塞往复运动使泵腔(气缸)的工作容积周期性地变化来抽气的真空泵,又称活塞真空泵。往复真空泵的结构与往复活塞压缩机相似。工作时,吸气管接被抽真空容器,排气管直通大气。往复真空泵抽气量较大,抽气速率范围为每小时45~20000立方米,单级泵极限压力约为103帕,双级泵可达1帕。往复真空泵可用于真空蒸馏、真空浓缩、真空结晶、真空过滤、真空干燥和混凝土真空作业等。在泵的吸气口处若安装冷凝器,可抽除含水蒸汽的气体;若安装过滤器,则可抽除含尘气体。
2014-09-08
水环真空泵按不同结构可分成如下几种类型:单级单作用水环泵单级是指只有一个叶轮,单作用是指叶轮每旋转一周,吸气、排气各进行一次。这种泵的极限真空较高,但抽速和效率较低。单级双作用水环泵单级是指只有一个叶轮,双作用是指叶轮每旋转一周,吸气、排气各进行二次。在相同的抽速条件下,双作用水环泵比单作用水环泵大大减少尺寸和重量。由于工作腔对称分布于泵轮毂两侧,改善了作用在转子上的载荷。此种泵的抽速较大,效率也较高,但极限真空较低。双级水环真空泵大多是单作用泵串联而成。实质上是两个单级单作用的水环泵的叶轮共用一根心轴联接而成。它的主要特点是在较高真空度下,仍然具有较大的抽速,而且工作状况稳定。大气水环泵实际是大气喷射器串联水环泵的机组。水环泵前面串联大气泵是为了提高极限真空,扩大泵的使用范围。水环真空泵和其它类型的机械真空泵相比有以下优点:结构简单,制造精度要求不高,容易加工。操作简单,维修方便。结构紧凑,泵一般与电动机直联,转数较高。用较小的结构尺寸,可以获得较大的排气量。泵腔内没有金属摩擦表面,无须对泵内进行润滑。转动件和固定件之间密封可直接由水封来完成。泵腔内压缩气体过程温度变化很小,可认为是
2014-09-08
真空泵工作原理 按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体传输泵和气体捕集泵。气体传输泵是一种能使气体不断的吸入和排出，借以达到抽气目的的真空泵。气体捕集泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上，从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵。 真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。真空泵可以定义为：利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体传输泵和气体捕集泵。随着真空应用技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机
2014-09-08
1.检查立申真空泵管路及结合处有无松动现象。用手转动真空泵,试看真空泵是否灵活。2.向真空泵轴承体内加入轴承润滑机油,观察油位应在油标的中心线处,润滑油应及时更换或补充。3.拧下真空泵泵体的引水螺塞,灌注引水或引浆。4.关好真空泵出水管路的闸阀和出口压力表及进口真空表。5.点动真空泵电机,试看电机转向是否正确6.开动电机,当真空泵正常运转后,打开出口压力表和进口真空泵,视其显示出适当压力后,逐渐打开闸阀,同时检查电机负荷情况。7.尽量控制真空泵的流量和扬程在标牌上注明的范围内,以保证真空泵在最高效率点运转,才能获得最大的节能效果。8.真空泵在运行过程中,轴承温度不能超过环境温度35℃,最高温度不得超过80℃。9.如发现立申真空泵有异常声音应立即停车检查原因。10.真空泵要停止使用时,先关闭闸阀、压力表,然后停止电机。11.真空泵在工作第一个月内,经100小时更换润滑油,以后每个500小时,换油一次。12.经常调整填料压盖,保证填料室内的滴漏情况正常以成滴漏出为宜.。13.定期检查真空泵轴套的磨损情况,磨损较大后应及时更换。14.立申真空泵在寒冬季节使用时,停车后,需将泵体下部放水螺塞拧
2014-09-08
1、CG-17玻璃三级高真空油扩散泵及其工作原理GG－17玻璃膨胀系数低，能更好地耐受很高的温度差变，故该泵比同型泵能受得起高温而且使用寿命也更长。该泵适用于电子工业，如电子管。显象管。X光管，以及半导体单晶硅的冶炼提纯，高沸点的油脂蒸馏提纯分离，日光灯，保温瓶高真空排气的仪器。工作原理：先由转动真空泵把系统抽到10～2Pa扩散泵油被加热沸腾,以高速从喷出的油蒸汽流不断将系统内气体分子带到泵的侧臂弯管球泡处集结,待气体密度达到机械真空泵的工作范围而被抽出,从而逐渐获得高真空.2、水环式真空泵/液环真空泵工作原理 水环真空泵(简称水环泵)是一种粗真空泵，它所能获得的极限真空为2000～4000Pa，串联大气喷射器可达270~670Pa。水环泵也可用作压缩机，称为水环式压缩机，是属于低压的压缩机，其压力范围为1～2×105Pa表压力。水环泵最初用作自吸水泵，而后逐渐用于石油、化工、机械、矿山、轻工、医药及食品等许多工业部门。在工业生产的许多工艺过程中，如真空过滤、真空引水、真空送料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气等，水环泵得到广泛的应用。由于真空应用技术的飞跃发展，水
2014-09-08
水环泵最初用作自吸水泵。是由叶轮、泵体、吸排气盘、水在泵体内壁形成的水环、吸气口、排气口、辅助排气阀等组成的。我公司在工业生产的许多工艺过程中,如真空过滤、真空引水、真空送料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气等,水环泵得到广泛的应用。由于真空应用技术的飞跃发展,水环泵在粗真空获得方面一直被人们所重视。由于水环泵中气体压缩是等温的,故可抽除易燃、易爆的气体,此外还可抽除含尘、含水的气体,因此,水环泵应用日益增多。水环式真空泵,一般来说所用的工作液都是水。作用在转子叶轮上的能量被液体接收并传给被压缩的气体,这样就造成了水环的温度升高。水环的部分水与气体一起压缩排除泵外。在压缩过程中产生的大部分热量被带走。因而需要不断的补充新鲜的水,以使水环泵的工作温度能够维持恒定。在多数的水环式真空泵中,其工作温度约为15-20℃,它取决于所补充水的温度。湿度传感器探头,,不锈钢电热管pt100传感器,,铸铝加热器,加热圈流体电磁阀实际上,水环泵的极限压力并不十分重要,因为不同的液体,在压力低于50-60hpa时,会发生气蚀现象,泵的部件会遭到损坏。当泵接近极限压力时,抽速很低,泵入口处的水开始沸腾
2014-09-08
水环式真空泵,一般来说所用的工作液都是水。作用在转子叶轮上的能量被液体接收并传给被压缩的气体,这样就造成了水环的温度升高。水环的部分水与气体一起压缩排除泵外。在压缩过程中产生的大部分热量被带走。因而需要不断的补充新鲜的水,以使水环泵的工作温度能够维持恒定。在多数的水环式真空泵中,其工作温度约为15-20℃,它取决于所补充水的温度。湿度传感器探头,,不锈钢电热管pt100传感器,,铸铝加热器,加热圈流体电磁阀。实际上,水环泵的极限压力并不十分重要,因为不同的液体,在压力低于50-60hpa时,会发生气蚀现象,泵的部件会遭到损坏。当泵接近极限压力时,抽速很低,泵入口处的水开始沸腾。当转至泵的出口时,形成的气泡开始破裂。这样就会产生很大的噪声,同时泵的驱动轮和泵腔等部件被逐渐破坏。这种现象通常称作气蚀现象。一旦气蚀现象发生,就要通过小阀引入少量的新鲜空气。在这种情况下,在入口官道上开个小孔,以便定量地加入些新鲜的其他,如果使用气体喷射器,气蚀现象就不会产生了。单级水环泵只适于入口压力为130-1013kpa的压力范围,压缩比为1:7。若入口压力低于130kpa时,推荐使用双级水环泵。在双级泵
2014-09-08
水环式真空泵,一般来说所用的工作液都是水。作用在转子叶轮上的能量被液体接收并传给被压缩的气体,这样就造成了水环的温度升高。水环的部分水与气体一起压缩排除泵外。在压缩过程中产生的大部分热量被带走。因而需要不断的补充新鲜的水,以使水环泵的工作温度能够维持恒定。在多数的水环式真空泵中,其工作温度约为15-20℃,它取决于所补充水的温度。实际上,水环泵的极限压力并不十分重要,因为不同的液体,在压力低于50-60hpa时,会发生气蚀现象,泵的部件会遭到损坏。当泵接近极限压力时,抽速很低,泵入口处的水开始沸腾。当转至泵的出口时,形成的气泡开始破裂。这样就会产生很大的噪声,同时泵的驱动轮和泵腔等部件被逐渐破坏。这种现象通常称作气蚀现象。一旦气蚀现象发生,就要通过小阀引入少量的新鲜空气。在这种情况下,在入口官道上开个小孔,以便定量地加入些新鲜的其他,如果使用气体喷射器,气蚀现象就不会产生了。单级水环泵只适于入口压力为130-1013kpa的压力范围,压缩比为1:7。若入口压力低于130kpa时,推荐使用双级水环泵。在双级泵中两个泵腔串联接通,工作腔容积比约为2.5:1。双级水环泵的极限压力取决于水的蒸
2014-09-08
罗茨泵的抽气速率和极限压力是泵的主要性能,但它在很大程度上要依赖于前级泵的型式和性能,因此它并不是罗茨泵本身特有的性能。能代表罗茨泵特征性能,而又与前级泵无关的是零流量压缩比、最大允许压差与溢流阀压差、漏率和噪声,它们与罗茨泵的真空状态、抽气性能和运行质量有着极其密切的关系。文中对特征性能的试验方法和装置进行了分析和研究,提出了有异于国内外现行标准的,更精粹、独特的见解。抽气速率和极限压力是罗茨泵的主要性能参数,但它不是罗茨泵本身特有的性能参数,而是罗茨泵和各种前级泵所组成的机组的性能参数。真正能反映罗茨泵特征性能,而又与前级泵无关的性能参数是零流量压缩比、最大允许压差与溢流阀压差、漏率和噪声。它们能真实反映罗茨泵的真空状态、抽气性能和运转的可靠性、稳定性。气冷式罗茨泵可以单台直排大气,这与普通罗茨泵有所区别,但由于消耗功率较大,一般均采用多台串联或以其它泵作前级,组成多级罗茨机组,此时气冷式罗茨泵成了机组的主泵,它的运转状态就与普通罗茨泵相同了。目前国内外有关罗茨泵的试验(验收)标准尚有不少不明之处和不足之处,有望通过试验、对比和分析,提出新的见解。1、零流量压缩比k0测试和研究1.
2014-09-08
如果所抽气体中含有固体颗粒,又想选择旋片式真空泵的话,需要在旋片泵的进气口管路中连接上一个过滤器,这样可以有效的防止旋片泵因为颗粒物质导致真空度下降的问题,需要注意的是过滤器的合理选择以及在使用过程中对过滤器的清洁。如果旋片式真空泵所抽气体含有水蒸气,在不考虑选择水环泵或者真空机组的情况下可以选择旋片泵,但是需要在旋片泵的进气口接通一个冷凝器,从而使水蒸气能够冷却变成水,然后进入泵内从而达到抽真空的目的。但是需要注意的一点是,因为冷凝器没办法把全部的水蒸气液化掉,所以在使用旋片泵的时候需要注意真空泵油的变化,如果发现真空泵油发生质变或者浑浊或者乳化现象,应及时更换真空泵油,这样才能保证旋片泵在工作的时候达到所要求的真空度,不然真空度会降低,甚至损坏真空泵。如果所抽气体中含有固体颗粒,又想选择旋片式真空泵的话,需要在旋片泵的进气口管路中连接上一个过滤器,这样可以有效的防止旋片泵因为颗粒物质导致真空度下降的问题,需要注意的是过滤器的合理选择以及在使用过程中对过滤器的清洁。旋片式真空泵不能抽除含氧过高的、有毒的、有爆炸性的浸蚀黑色金属的和对真空油起化学作用的各种气体,也不可做为压缩机和输送泵
2014-09-08
水环式真空泵使用须知水环式真空泵,一般来说所用的工作液都是水。作用在转子叶轮上的能量被液体接收并传给被压缩的气体,这样就造成了水环的温度升高。水环的部分水与气体一起压缩排除泵外。在压缩过程中产生的大部分热量被带走。因而需要不断的补充新鲜的水,以使水环泵的工作温度能够维持恒定。在多数的水环式真空泵中,其工作温度约为15-20℃,它取决于所补充水的温度。实际上,水环泵的极限压力并不十分重要,因为不同的液体,在压力低于50-60hpa时,会发生气蚀现象,泵的部件会遭到损坏。当泵接近极限压力时,抽速很低,泵入口处的水开始沸腾。当转至泵的出口时,形成的气泡开始破裂。这样就会产生很大的噪声,同时泵的驱动轮和泵腔等部件被逐渐破坏。这种现象通常称作气蚀现象。一旦气蚀现象发生,就要通过小阀引入少量的新鲜空气。在这种情况下,在入口官道上开个小孔,以便定量地加入些新鲜的其他,如果使用气体喷射器,气蚀现象就不会产生了。单级水环泵只适于入口压力为130-1013kpa的压力范围,压缩比为1:7。若入口压力低于130kpa时,推荐使用双级水环泵。在双级泵中两个泵腔串联接通,工作腔容积比约为2.5:1。双级水环泵的
2014-09-08
无油干式机械真空泵（又简称干式机械泵）是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。目前，真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大，原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题：一是泵的工作介质返流污染被抽容器，而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量，增加设备的维护成本。其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，使泵不能正常工作。对于普通的无油真空系统来说，虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流，但不能彻底解决问题，而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵，则可以达到理想的使用效果。干式机械真空泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面：1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒
2014-09-08
1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:真空镀膜要求1×10-5mmhg的真空度,选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmhg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:扩散泵为10-3~10-7mmhg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmhg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在10-8mmhg下长期工作。3、真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合
2014-09-08
真空泵的选择：1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度，选用的真空泵的极限真空度至少要2mmHg，最好能达到1mmHg。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：2BV系列水环真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg（绝压），在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化（详细变化情况参照泵的性能曲线），其稳定的工作压强范围为760~60mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜，而不能让它在25~30mmHg下长期工作。3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的
2014-09-08
1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合
2014-09-08
“滑阀式真空泵的抽气原理与片泵相似，当两者结构不同。滑阀式真空泵是利用滑阀机构来改变西气腔容积的，故称华发泵。”华发泵虽然是一种老泵，但与旋片泵等比较，它具有允许工作压力高(104pa)、抽气量大、能在恶劣环境下连续工作，经久耐用等突出特点，所以在真空冶炼、真空干燥、真空浸渍、真空蒸馏等行业得到广泛的应用。目前真空行业中广泛使用的油封式真空泵大多是中、小型的选片泵和中、大型的华发泵。旋片泵在较脏的工作条件下，旋片泵在转子槽中卡住。尽管华发泵对这一缺点有一定程度的克服，但由于滑阀的质心相对回转中心的距离不是定值，虽然结构上采取了一些平衡措施，但尚不能达到完全平衡，故振动难以完成消除。尤其泵的容量越大，振动亦更大。同时上述两种泵，特别是滑阀泵与其排气量相比外形尺寸显得较大。????
